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超聲波清洗技術(shù)的新進(jìn)展
點(diǎn)擊次數(shù):1623 更新時(shí)間:2019-05-24

一,高頻超聲清洗

    對于像硅片表面小至零點(diǎn)幾微米的超微污染粒子,常規(guī)的超聲波清洗器無能為力,即使增加功率密度也無濟(jì)于事。近來發(fā)展了一種兆赫茲級的高頻超聲清洗技術(shù),由于頻率高,空化效應(yīng)已不起作用,因此清洗的關(guān)鍵不是氣泡,是高頻壓力波的擦洗作用,其對污物的去除率接近。高頻清洗近來發(fā)展較快,主要用于超大規(guī)模集成電路芯片的污物清洗,以及硅晶片、陶瓷。光掩膜等特種污物的清洗。

二,聚焦式清洗

   對于想紡織行業(yè)的噴絲板、過濾器之類微孔物件的清洗,常規(guī)的超聲清洗效果十分不理想,聲強(qiáng)達(dá)不到要求,而采用機(jī)械掃描聚焦式超聲清洗,噴絲板微孔中的污物脫離則十分明顯。聚焦式清洗要求達(dá)到高的聲強(qiáng),目前選用的頻率以低頻為主,常用20KHZ和15KHZ兩種頻率,個(gè)別的頻率也有28KHZ的,其電功率在連續(xù)波情況下一般為500~700w,間隙脈沖工作狀態(tài)下,功率可高一些。

三,多頻清洗

    即在一只清洗槽中,按裝有兩種或三種以上不同頻率的換能器,由多只發(fā)生器分別推動(dòng)各自頻率的換能器。我們知道,清洗器工作頻率高時(shí),在液體中空化輕度底而空化密度大,而工作頻率底時(shí)則相反。低頻超聲波的強(qiáng)度高,對物體表面清洗有利,高頻超聲波空化密度高,沖擊波能穿達(dá)凹槽、細(xì)縫、深孔等細(xì)微結(jié)構(gòu)。同時(shí)缸中有多種頻率的超聲波,也克服了單頻清洗駐波場造成的清洗不均勻問題。

四,掃頻和跳頻清洗

    掃頻和跳頻清洗都是為了改善槽中的聲場結(jié)構(gòu),前者解決了槽中的不均勻駐波場,是清洗均勻。而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗,不同的是跳頻用的是一個(gè)換能器和一個(gè)發(fā)生器,其換能器本身有兩個(gè)諧振頻率,在諧振點(diǎn)帶寬內(nèi)作連續(xù)的頻率變化,然后跳到另一帶寬內(nèi)進(jìn)行掃頻清洗,是高低頻交替進(jìn)行清洗。

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